离子氮化炉是使用辉光放电效应对金属零件进行氮化处理用的一种电炉设备。它是一种新的外表热处理工艺，对进步钢铁零件的耐磨性、耐疲惫和抗腐蚀性具有明显效果。

  离子氮化炉的作业原理是：把被处理的工件放在真空容器内，并与阴极相连，然后把容器内部抽线Pa，再冲入少数的氮氢混合独特。在阴极与阳极之间加上必定电压直流电，使气体发生电离，发生辉光放电。由此发生的氨正离子在电场效果下炮击工件（阴极），将工件外表加热到所需温度，一起在工件外表上攫取电子，与根本金属构成氨化层。

  辉光放电是淡薄气体放电，也是一种自激放电。它和弧光放电的区别是气体淡薄，阴极是冷电极，阴极区压降较大，其他部位压降较小。作业时，正离子炮击阴极，使之发射电子，在电场效果下电子运动加快，磕碰气体分子，激起气体分子发光和电离，发射的电子少，放电电流小，辉光放电的特点是发光多而发热少。日光灯便是辉光放电的一个使用实例。

  在与一般气体氮化炉比较，离子氮化炉具有以下长处：处理周期短，发生效率高，耗电小；零件变形小，氮化层无脆性层，不用在处理后再加工；对资料的适用型较广；劳动条件好，对环境污染少。但离子氮化炉用于小孔内壁的氨化处理较困难。在离子氨化的基础上，离子软氨化离子渗氮供渗和离子渗碳等工艺正在发展中。